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| 产品名称: | DP15897 半导体电阻率测试仪 |
| 产品型号: | DP15897 |
| 品牌: | 59 |
| 产品数量: | |
| 产品单价: | 面议 |
| 日期: | 2024-09-12 |
DP15897 半导体电阻率测试仪的详细资料
半导体电阻率测试仪 型号:DP15897
半导体电阻率测试仪根据四探针原理,适合半导体器材厂,材料厂用于测量半导体材料(片状、棒状)的体电阻率,方块电阻(簿层电阻),也可以用作测量金属薄层电阻,适合于半导体器材厂工艺检测方面对中值、高阻硅、锗材料方块电阻和体电阻率的测量需要,成为普及型的电阻率测试仪。
半导体电阻率测试仪技术指标:
1. 测量范围:电阻率10-3—103Ω-cm,分辩率为 10-4Ω-cm ,可扩展到105Ω-cm
方块电阻10-2—104Ω/□,分辩率为10-3Ω/□,可扩展到106Ω/□
薄层金属电阻10-4—105Ω,分辩率为10-4Ω
2.可测半导体材料尺寸:直径Φ15—Φ125mm; 长度:150mm(可扩展500mm)
3.测量方式:轴向、断面均可
4.数字电压表:(1)量程:20mV(分辩率:10μV)、200mV、2V
(2)测量误差:±0.3%读数±1字
(3)输入阻抗:大于108Ω
(4)显示3 1/2 位红色发光二极管(LED)数字显示
0---1999具有极性、过载、小数点、单位自动显示
5.恒流源:由交流供电,具有良好的防泄漏隔离功能
(1) 直流电流:0—100mA连续可调
(2) 量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
(3) 分辩率:10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA
(4) 电流误差:±0.3%读数±2字
6.电性能模拟考核误差:<±0.3%符合ASTM指标
7.测试探头:(1)探针机械游移率:± 0.3% 符合ASTM 指标
8.电源:交流220V±10% 50HZ或60HZ 功率消耗< 30W
9.电气箱外形尺寸:119×440×320mm