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产品名称: DP15897 半导体电阻率测试仪
产品型号: DP15897
品牌: 59
产品数量:
产品单价: 面议
日期: 2024-09-12

DP15897 半导体电阻率测试仪的详细资料

半导体电阻率测试仪 型号:DP15897

半导体电阻率测试仪根据四探针原理,适合半导体器材厂,材料厂用于测量半导体材料(片状、棒状)的体电阻率,方块电阻(簿层电阻),也可以用作测量金属薄层电阻,适合于半导体器材厂工艺检测方面对中值、高阻硅、锗材料方块电阻和体电阻率的测量需要,成为普及型的电阻率测试仪。

半导体电阻率测试仪技术指标:

1.  测量范围:电阻率10-3—103Ω-cm,分辩率为 10-4Ω-cm ,可扩展到105Ω-cm

方块电阻10-2—104Ω/□,分辩率为10-3Ω/□,可扩展到106Ω/□

薄层金属电阻10-4—105Ω,分辩率为10-4Ω

2.可测半导体材料尺寸:直径Φ15—Φ125mm;  长度:150mm(可扩展500mm)

3.测量方式:轴向、断面均可

4.数字电压表:(1)量程:20mV(分辩率:10μV)、200mV、2V

(2)测量误差:±0.3%读数±1字

(3)输入阻抗:大于108Ω

(4)显示3 1/2 位红色发光二极管(LED)数字显示

0---1999具有极性、过载、小数点、单位自动显示

5.恒流源:由交流供电,具有良好的防泄漏隔离功能

(1)       直流电流:0—100mA连续可调

(2)       量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

(3)       分辩率:10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

(4)       电流误差:±0.3%读数±2字

6.电性能模拟考核误差:<±0.3%符合ASTM指标

7.测试探头:(1)探针机械游移率:± 0.3% 符合ASTM 指标

8.电源:交流220V±10%   50HZ或60HZ  功率消耗< 30W

9.电气箱外形尺寸:119×440×320mm