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产品名称: 热式气体质量流量控制器 DP/S48 32/HMT
产品型号: DP/S48 32/HMT
品牌: 59
产品数量:
产品单价: 面议
日期: 2024-09-24

热式气体质量流量控制器 DP/S48 32/HMT的详细资料


热式气体质量流量控制器    型号;DP-S48 32/HMT
编号
项目
S48 32/HMT
1
流量规格
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(1,2,3,5,10,20,30)L/min
2
调节阀类型
电磁调节阀
3
调节阀静止状态
常闭
4
安装方向
任意
5
流量控制范围
2%-
6
流量测量范围
(0-100)%
7
零点温漂
0.6%F.S.(15~35℃)
8
响应时间 
2s(T98,设定值的±2%F.S.)
9
工作环境温度
5~50℃
10
精度保证温度
15~35℃
11
精度
±1.0%F.S
12
线性
±0.5%F.S
13
重复精度
±0.2%F.S
14
工作压差范围
~5L/min:(0.05-0.3)MPa
10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa
15
耐压
3MPa
16
漏率
1×10-8Pa.m3/s(He)
17
管路接头
1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm
18
供电电源
±15VDC(±5%) 15V,100mA;15V, 200mA
19
设定信号
(0-5)VDC 
输入阻抗>1MΩ
20
流量输出信号
(0-5)VDC
负载输出电流能力≤3mA
21
电气接头
D-SUB15
22
尺寸 (mm)
113(宽)×121()×32(厚)