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微波等离子发生设备 DPLZ-1500的详细资料
本设备由微波系统、真空系统、水冷系统等几部分组成 电源:AC220V,50Hz 微波功率:0-1500W连续线性可调(或0-800W连续线性可调) 微波频率:2450MHz±50MHz 石英管反应室:φ50mm 放置样品的基片台可以方便地在放电腔内上下升降调节 放电腔两端有双层水冷套作降温保护