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详细描述四探针测试仪的功能以及特点

发布时间2020-07-04        浏览次数:152

四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美国A.S.T.M 标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。该仪器采用了电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。如有需要可加配测试台使用。
  四探针测适用范围:
  1、覆盖膜;导电高分子膜,高、低温电热膜;隔热、防辐射导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层,电阻式、电容式触屏薄膜;电涂料,其他半导体材料、薄膜材料方阻测试。
  2、硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻  半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件,导电薄膜(ITO导电膜玻璃等),金属膜,导电漆膜,蒸发铝膜,PCB铜箔膜。
  3、EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率  导电性油漆,导电性糊状物,导电性塑料,导电性橡胶,导电性薄膜,金属薄膜。
  4、抗静电材料, EMI 防护材料,导电性纤维,导电性陶瓷等。
  四探针测试仪的功能描述:
  1、四探针单电测量方法;
  2、液晶显示,自动测量,自动量程,自动系数补偿;
  3、高集成电路系统、恒流输出;
  4、选配:PC软件进行数据管理和处理;
  5、提供中文或英文两种语言操作界面选择。
    四探针测设备特点:
  1、可以测量高温、真空、气氛下薄膜方块电阻和薄层电阻率;
  2、软件、触摸屏、高温炉等集成于一体,可以进行可视化操作;
  3、可实现纯净气氛条件下的测量;同时保证探针在高温下不氧化;
  4、采用labview软件开发,操控性、兼容性好、方便升级;
  5、可自动调节样品测试电压,探针和薄膜接触闪络现象;
  6、控温和测温采用同一个传感器,保证样品每次采集的温度都是样品实际温度;
  7、可配套使用Keithley2400或2600数字多用表。